ASML暗示可远程瘫痪旗下光刻机背后：EUV需要频繁维护，需要工程师穿着特殊的套装以避免污染

　　现在，报道中有给出了更多有趣的细节，比如ASML表示可以远程瘫痪（remotely disable）相应机器，包括最先进的极紫外光刻机（EUV）。

　　消息人士称，EUV需要频繁维护，如果没有ASML提供的备件，这些机器很快就会停止工作。

　　此外，EUV的现场维护要求很高，它们被安置在无尘室内，需要工程师穿着特殊的套装以避免污染。

　　报道中还提到，ASML为某些客户提供联合服务合同，让其进行一些日常维护（对机器内部），但无法访问客户机器内的专有数据。

　　在这之前，ASML公司CEO就曾明确表示，目前公司没有理由不为已经出售给中国客户的设备提供服务，他们在中国安装的设备没有服务限制。