现在,报道中有给出了更多有趣的细节,比如ASML表示可以远程瘫痪(remotely disable)相应机器,包括最先进的极紫外光刻机(EUV)。
消息人士称,EUV需要频繁维护,如果没有ASML提供的备件,这些机器很快就会停止工作。
此外,EUV的现场维护要求很高,它们被安置在无尘室内,需要工程师穿着特殊的套装以避免污染。
报道中还提到,ASML为某些客户提供联合服务合同,让其进行一些日常维护(对机器内部),但无法访问客户机器内的专有数据。
在这之前,ASML公司CEO就曾明确表示,目前公司没有理由不为已经出售给中国客户的设备提供服务,他们在中国安装的设备没有服务限制。